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晶圓級氣體感測器高效能點測系統開發

建立日期:2019/10/31
  • 作者: 儀科中心/林儀豪、陳銘福、陳志文、陳柏睿、卓文浩、陳建霖、林郁欣
  • 出處: 2019 AOI論壇與展覽
  • 內容: 本研究整合光機電與真空系統之技術,開發出於晶圓狀態可進行氣體感測器之高效能點測系統,可提供氣體感測器工作狀態所需的溫度、氣體成份及氣體濃度,在晶圓狀態進行晶粒的電性點測程序。本系統可在50秒內完成晶圓的自動光學對位,並可在30分鐘內完成一片六吋晶圓 (約1.7萬顆晶粒) 的電性點測。本系統可於封裝前確認氣體感測器功能優劣,並篩除性能不合格的晶粒,可提高生產效能與產品競爭力。
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