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知識分享

無效量測資料的理想形貌模擬

建立日期：2018/02/21
  • 作者： 蘇彥禎等
  • 出處： 工研院量測中心 蘇彥禎、張樂融
  • 內容： 光干涉技術因為具有快速、精細度高、以及非破壞性檢測等優點，而普遍地被應用於微小結構物的量測中，但是對於傾斜度過高的表面形貌，則會因為反射光的角度過大，無法被感應設備正確地偵測到，而發生量測資訊不足的現象。
    有鑑於一般性的方法所遭遇到的困難，我們提出一套演算法，能在光學量測後，根據有限的已知資料，重建出光學限制下，高傾斜度形貌所遺失的資訊，並且能兼顧：重建的精確度、執行的速度、不易受雜訊干擾的穩定度、以及表面形貌的普遍性等要素。

    論文全文請詳附加檔案連結說明。
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