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知識分享

增亮膜表面形貌的三維影像重建

建立日期：2018/02/21
  • 作者： 蘇彥禎
  • 出處： 工研院量測中心 蘇彥禎
  • 內容： 在微小結構物的量測上，光干涉技術因為具有快速、精細度高、以及非破壞性檢測等優點，而普遍地被應用，但是對於傾斜度過高的表面形貌，則會因為反射光的角度過大，無法被感應設備正確地偵測到，而發生量測資訊不足的現象。

    本論文嘗試利用增亮膜(Brightness Enhancement Film, BEF)結構上的特性(增亮膜的結構簡單、而且具有週期性)，在有限的硬體輔助下，以軟體自動修正量測誤差，並重建其表面形貌，量測系統只要提供位移對位點即可，具有高度的便利性。

    論文全文請詳附加檔案連結說明。
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