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知識分享

變焦透鏡與PZT微致動應用於形貌量測

建立日期：2020/11/16
  • 作者： 儀科中心/劉兆峰、翁精峰、廖泰杉、翁俊仁、劉達人
  • 出處： 2020 AOI論壇與展覽
  • 內容： 本篇為「2020 AOI論壇與展覽」論文集，摘要如下：

    本研究透過兩種不同的架構來量測三維表面的輪廓，第㇐種為透過光焦度的調整並搭配焦距演算法達到找到最佳焦距位置，並轉換為高度資訊而達到測量物品表面的輪廓。第二種為調整 PZT stage 平台的高度，因測試物不同的高度有不同的對焦高度，達到測量物品表面的輪廓。
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