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技術供應

非接觸導電薄膜阻抗量測模組(關鍵字：渦電流)
Non-Contact ITO Film Resistance Measurement Module

發布日期：2018-03-14
  • 研發團隊： 張樂融、許勝雄、葉清銘
  • 研發團隊負責人：
  • 技術類別： 其他
  • 應用領域： FPD檢測
  • 技術簡介： 非接觸式阻抗量測模組利用電磁原理，藉由電磁場與材料之耦合關係，達成非接觸量測待測物阻抗特性，相較於傳統探針接觸式量測樣品阻抗之方法，具有可避免樣品損傷，量測速度快，能在高速移動下量測待測物阻抗均勻性等優點，可應用於製程線上檢測，回饋製程參數調整。
  • 合作或技轉聯絡人： 涂鐘範/ TEL 03-5743880/手機035743380/ CFTu@itri.org.tw
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