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台灣大學/電機工程學系/奈米設計與製造系統實驗室
機構性質：
學術機構
AOI產品類別：
光電/半導體
工具機/機械
淨零/能源
生醫/農業
其他
地址：
106臺北市大安區羅斯福路四段1號
網址：
-
全球據點：
亞洲
登記資本額：
不適用
負責人 / 實驗室主持人：
蔡坤諭
員工人數 / 實驗室人數：
14
設立日期：
2005
上市櫃日期：
不適用
業務聯絡人：
陳儀儒
電話：
(02)33669638
傳真：
-
電子信箱：
diochen@ntu.edu.tw
機構簡介：
研究主旨在於應用先進的控制，訊號處理，與最佳化演算法以解決奈米製像與奈米科技相關的問題，尤其是奈米積體電路的製造與設計。目前主要的研究方向包括： (1)奈米等級微影製程與設備之研發； (2)奈米等級微影與晶片可製造性分析與設計軟體之研發； (3)奈米等級微影製程與設備之控制； (4)應用控制與最佳化演算法於電路自動化設計； (5)感測器與致動器陣列與其訊號處理演算法之研發。 主要研究設備包括：個人電腦、高效能工作站叢集、多種數值運算與製程元件模擬軟體、多種電子設計自動化軟體、高壓電源供應器、示波器、即時資料擷取與控制系統開發平台、奈米定位平台、與次奈米等級雷射干涉儀等。
供應產品品牌：
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AOI主力產品 / AOI研究項目：
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代表性獎項 / 實績：
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